用四探針法測量金屬薄膜電阻率時可能產生誤差的根源

2021-08-11 15:23:52 字數 1871 閱讀 6593

1樓:墨汁諾

四探針方塊電阻(又叫薄膜電阻)測試儀是半導體制造中常用的檢測儀器之一,用以測量半導體材料的電阻率和薄膜的方塊電阻,同時達到測量半導體薄層材料的摻雜濃度和薄膜厚度、控制器件和積體電路效能的目的。

在此基礎上發展起來的交流四探針方法,能夠消除電接觸區的熱電勢,但它對交流電流源和檢測訊號的交流放大器穩定性的要求極為嚴格,且仍存在接觸穩定性問題。這些因素造成四探針法對於電阻值的微小變化不敏感,阻礙了仔細分析材料組織結構的微弱變化過程。

四探針測試技術

是用4根等間距配置的探針紮在半導體表面上,由恆流源給外側的兩根探針提供一個適當小的電流i,然後測量出中間兩根探針之間的電壓v,就可以求出半導體的電阻率。對於厚度為w(遠小於長和寬)的薄半導體片,得到電阻率為ρ=ηw(v/i),式中η是修正係數。

特別,對於直徑比探針間距大得多的薄半導體圓片,得到電阻率為ρ= (π/ln2)w(v/i)= 4.532 w(v/i) [ω-cm],其中w用cm作單位。

2樓:真龍化學

四探針法是測量一恆流源在樣品不同位置引起的電位差得出材料的電阻率 . 為獲得精確的測試結果,必須保持四根探針和樣品表面良好、穩定的彈性接觸. 它要求探針比較尖及保持適當的接觸壓力,這就常常造成材料表面損傷並使測量值易受外界干擾,這種情況在測量薄條帶或薄膜樣品時更為明顯.

另外,雖然測量電流很小( < 100 ma) ,但探針與樣品接觸的面積也很小,由區域性熱效應產生的電動勢有時能達到被測量訊號的量級. 雖然改變電流方向可以抵償大部分熱電勢影響 ,但對於電阻率的細微變化,還是不易得到好的結果,且不宜連續測量. 在此基礎上發展起來的交流四探針方法[17 ] ,能夠消除電接觸區的熱電勢,但它對交流電流源和檢測訊號的交流放大器穩定性的要求極為嚴格,且仍存在接觸穩定性問題.

這些因素造成四探針法對於電阻值的微小變化不敏感,阻礙了仔細分析材料組織結構的微弱變化過程

3樓:

我做過那個實驗,並且有相關的ppt,要的話聯絡[email protected]

直流四探針法測量電阻率的基本原理是什麼?

4樓:北京得利特

油體積電阻率測定儀按dl421.91《絕緣油體積電阻率測定法》的電力行業標準為專

依據,根據有源屬電橋的原理研製成功的一種新型電阻率測定專用儀器。具有結構簡單、線性度好、靈敏度高、測試結果穩定、操作安全等優點,其效能遠高於通常的電壓電流法。儀器由引數測量系統、油杯加熱控溫系統兩部分組成,具有自動計時、液晶顯示功能。

可測量絕緣油體積電阻率。

5樓:匿名使用者

四探針電阻率測來試儀也源有很多種,例如高溫的或bai者常溫的,

du不同的四探針電阻zhi率測試

儀針對不同的材料dao測量的引數也是不同的。舉例,高溫四探針電阻率測試儀可以測量矽、鍺單晶電阻率和矽外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃和其他導電薄膜的方塊電阻,主要用於評估半導體薄膜和薄片的導電效能。hrms-800高溫四探針電阻率測試儀就是,主要測量的引數就是半導體材料的電阻、電阻率、方塊電阻等。

四探針法測電阻率為什麼要反向測量?

6樓:匿名使用者

四個探針在一條直線上,那麼當電壓正反改變時,由於對稱性,中間兩探針間電勢差絕對值應專相等,而屬現在不相等,我想要麼是你零點沒調好,或者在做的時候發生了零點漂移,要麼是四個探針之間厚度不均勻,所以取個平均代表整體

所以我覺得可能的原因有兩點

1 防止未調零好或減小零點漂移的誤差

2 防止材料各部分厚度不均勻,取平均計算平均的電阻率當然這是自己想的可能有錯,歡迎指出

7樓:匿名使用者

fgzdhgfhzghgchb

四探針法測電阻率,需要用到什麼儀器

意思就是要用歐姆表去直接測量.歐姆表就是自身產生一個弱電流,去測量探針兩端的電壓,然後和自身的體電阻比較,最後給出電阻值.但是這對於半導體是不準確的,半導體電阻無法用兩根探針測量的主要原因是 1 接觸電阻的影響嚴重。探針與半導體接觸產生一定厚度的耗盡層,耗盡層是高阻的,另外探針和半導體之間不像與金屬...

關於三針法測量螺紋中徑的問題,測量出來的結果是單一中徑還是作用中徑

三針測量出來的是單一中徑,這個中徑在實際使用中是沒有用處的。我們平常使用的時候用到的稱之為作用中徑。單一中徑只是一個用來參考的東西。三針測量出來的是單一中徑。我們平常使用的時候用到的稱之為作用中徑回。單一中徑,表面上是沒有答用,但實際上是一個螺紋的基本引數,影響著螺紋的力學效能 疲勞強度 齧合程度等...

測量用英語怎麼說,完成測量用英語怎麼說

你好!測量 measurement 英 me m nt 美 me rm nt n.量度 份量,尺寸 測量法 量得的 尺寸 例句 we took lots of measurements我們得到了許多測量結果。measure survey gauge 完成測量用英語怎麼說 完成測量的英文翻譯 plet...